晶圆传输机器人

展品介绍

大气晶圆传输机器人采用双臂式机械结构设计，全轴由伺服电机精准控制。在高速运行时，能够凭借先进的自研运动学和动力学算法，保持晶圆的高精度传输。采用插补控制算法实现VIA功能，可灵活应对复杂传输任务；真空晶圆传输机器人采用直驱电机进行闭环控制，结合自研轨迹路径算法，确保晶圆的高平稳传输。搭载自动纠偏功能，可实时检测并纠正晶圆偏差，为半导体制造提供高效、可靠的传输解决方案。